目前氮化鋁基板制備技術主要有流延成及干壓兩種成型工藝。一般厚基板采用干壓成型制備,具體是將氮化鋁粉料與添加劑混合后加粘結劑,噴霧造粒,將造粒好的粉體裝入干壓模具進行壓制,排膠后燒結,或者經過等靜壓處理后排膠燒結,由于壓制坯體均勻性問題,成瓷基板往往需要后加工,以達到所需要的尺寸及精度要求。干壓成型存在以下缺點:1、需要專門制做模具;2、由于壓制的坯體不太均勻,易造成燒結后尺寸收縮不均勻,產品往往需要后續切割加工,太厚加工難度較大,成本較高;3、干壓成型往往存在氣孔等缺陷,影響產品強度與導熱率等性能;4、同時壓制不均勻也易造成燒結后的產品外觀及不同部位性能存在差異;5、生產效率低。
氮化鋁厚基板的另一種制備方法是采用流延疊層方式增加基板厚度,普通流延疊層存在以下缺點:1.疊層間由于空氣未排凈容易出現氣泡;2.坯片在疊層過程中容易出現錯位現象。采用流延成型制備氮化鋁厚基板需要對坯體表面進行特殊處理,否則易出現分層及產品外觀及性能等問題。
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